马志斌

    名:马志斌

学历学位:研究生博士

专业技术职务: 教授

主要研究方向:低温等离子体应用,薄膜材料

基本情况:男,出生于196810月,1991年毕业于武汉大学物理系,获学士学位;19947月毕业于中国科学院等离子体物理研究所获硕士学位,20019月毕业于中国科学院等离子体物理研究所获博士学位。湖北省学位与研究生教育管理工作先进个人。主要从事等离子体技术与功能薄膜材料方面的研究工作,在新型等离子体源的设计、金刚石薄膜材料的制备等方面的研究成果得到转化应用。先后主持完成国家、省自然科学基金等纵横向科研项目10余项。科研进账220万。作为第一作者或通讯作者在国内外核心刊物上发表研究论文50余篇,其中SCI收录12篇,EI收录9篇。获国家发明专利7项,转化实施2项。负责开发设计的等离子体教学、科研设备为国内100余所高校和研究机构采用,产生良好的社会效益。获中国化工教育科学研究成果奖三等奖,1(2011)2.省教学研究成果奖三等奖,第1(2012)

主要研究成果:

一、主持的主要教学、科研项目

1) 回旋离子束及其与CVD金刚石膜表面作用机理的研究(10875093),2009-2011,国家自然科学基金

2) 等离子体装置的研制,2005-2009,企业委托

3) 等离子体技术实验平台及配套设备开发,2005-2010,企业委托依托该项目,开发的等离子体技术实验教学装置得到全国100多所高等院校和研究所使用,为企业赢得了较好的社会和经济效益。

4)“十一五”国家级课题“我国高校应用型人才培养模式研究”子课题

适应现代工业的材料类的实践教学体系的探索和建立(FIB0703350A6-07,2008

5)用于宝石材料制备与加工的微波等离子体装置研制,2011-2013,高校委托

二、发表的主要论文

[1] Xianfeng Zheng, Zhibin Ma, Lei Zhang and Jianhua Wang. Investigation on the etching of thick diamond film and etching as a pretreatment for mechanical polishing.Diamond and Related Materials. 2007, 16(8):1500-1509.

[2] Xianfeng Zheng, Zhibin Ma. Plasma-etching enhanced mechanical polishing for CVD diamond films. Plasma Science and Technology.200810(3):336-339

[3] 吴利峰,马志斌,何艾华.Decomposition of silicon tetrachloride by microwave plasma jet at atmospheric pressure. Journal Inorganic Materials.  2009,45(12)1403-1407.

[4] 吴利峰,马志斌, 何艾华. Studies on destruction of silicon tetrachloride using microwave plasma jet. Journal of Hazardous Materials, 2010

[5] 万 军, 马志斌,曹 宏, 吴振辉, 汪建华.溅射辅助微波等离子体化学气相沉积SiCN晶体. 新型炭材料,2010,25(1):48-52

[6] 谭必松,马志斌,沈武林,吴振辉. 非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜. 强激光与粒子束,2010,22(8):1887-1890.

[7] 吴利峰,马志斌,翁国峰,湛玉龙. 高气压微波氢等离子体发射光谱诊断. 强激光与粒子束,2010,22(9):2027-2031.

[8] 谭必松,马志斌,沈武林,曹宏,汪建华. Measurement of Ion Parameters by Ion Sensitive Probe in ECR Plasma.Plasma Science and Technolog, 2011,13(1):68-72.

[9] Lei Zhang, Zhibin Ma, Lifeng Wu .Growth and Characterization of Diamond Films Deposited at High-Pressure Using a Low-Power Microwave Plasma Reactor. Journal Inorganic Materials. 2011,47(3):255-261

三、授权发明专利:

1.制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置,ZL03128121.4,发明人:马志斌,万军

2.一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置,ZL200610019380.9,发明人:马志斌,汪建华

3.一种从工业有机废气中回收微细碳粉的方法和装置,ZL200710052759.4,发明人:马志斌,何艾华

4.在石英圆管内或外壁(类)金刚石薄膜的方法及装置ZL200710051833.0,发明人:马志斌,张磊

5.一种从工业废气中回收微细硅粉或微细硫粉的方法ZL200710052760.7,发明人:马志斌,何艾华

6. 利用大气压微波射流等离子体技术脱除工业烟气中二氧化硫的方法ZL201010168751.6,发明人:马志斌,吴俊,吴利峰,孙刚,胥明

7. 等离子体发射光谱法测定熏蒸罐中溴甲烷浓度的方法及装置ZL201010185062.6,发明人:马志斌,彭建,翁国峰,艾华,陶洪

四、获奖情况

1. 等离子体技术实验教学体系和平台的构建与实施,中国化工教育科学研究成果奖三等奖,2011

2.DH2004多功能微波等离子体实验装置,杭州市科技进步奖 三等奖,2007

3. 依托优势学科培养材料物理专业特色人才的探索与实践,湖北省教学成果三等奖,2012

研究生培养情况:

  现有在读研究生6名,已指导毕业研究生15名,其中5名分别到中国科学院、华中科技大学、武汉理工大学等科研院所攻读博士学位,其余毕业生在新能源、微电子等行业工作从事生产管理或技术开发工作。毕业研究生共发表SCI收录论文20余篇。